پلازما کی سطح کی صفائی ایک ایسا عمل ہے جس میں گیسی ذرات سے اعلی توانائی والے پلازما کی تخلیق کے ذریعے نمونے کی سطح کی نجاستوں اور آلودگیوں کو ہٹا دیا جاتا ہے، اسے مختلف ایپلی کیشنز کے لیے ڈیزائن کیا گیا تھا جیسے سطح کی صفائی، سطح کی نس بندی، سطح کو چالو کرنا، سطح کی توانائی میں ردوبدل، بانڈنگ اور آسنجن کے لئے سطح کی تیاری، سطح کی کیمسٹری میں ترمیم۔